Microscope atomique de balayage plat de force
- La conception de tête de balayage de portique, la base de marbre, l'étape d'adsorption de vide, la dimension de l'échantillon et le poids sont fondamentalement illimités
- A62.4510 + scanner indépendant gyroscopique en circuit fermé de décalage de pression, qui peut balayer avec la haute précision dans un éventail
- Méthode de alimentation d'aiguille intelligente avec la détection automatique de la céramique piézoélectrique contrôlée par le moteur pour protéger des sondes et des échantillons
- Positionnement optique automatique, aucun besoin pour ajuster le foyer, observation en temps réel et positionnement du secteur de balayage d'échantillon de sonde
- Équipé du bouclier fermé en métal, table amortissante pneumatique, capacité anti-parasitage forte
◆Le premier microscope atomique commercial de force en Chine pour réaliser le balayage mobile combiné de la sonde et de l'échantillon ;
◆Le premier en Chine pour employer une table de balayage piézoélectrique de décalage de boucle fermée indépendante gyroscopique pour réaliser le balayage à haute précision à grande échelle ;
◆Le balayage indépendant gyroscopique, XYZ ne s'affecte pas, très approprié à la détection tridimensionnelle de matériel et de topographie ;
◆Contrôle électrique de table mobile témoin et de table élévatrice, qui peut être programmé avec la position multipoint réaliser la détection automatique rapide ;
◆Conception de tête de balayage de portique, base de marbre, adsorption de vide et étape magnétique d'adsorption ;
◆Le moteur contrôle automatique la méthode de alimentation d'aiguille intelligente de la détection automatique en céramique piézoélectrique pour protéger la sonde et l'échantillon ;
◆Positionnement optique auxiliaire de microscope de rapport optique élevé, observation en temps réel et positionnement de la sonde et du secteur de balayage d'échantillon ;
◆L'étape de balayage piézoélectrique en circuit fermé n'exige pas la correction non linéaire, et l'exactitude de caractérisation et de mesure de nanomètre est meilleure que 99,5%.
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A62.4510 |
A62.4511 |
Mode de travail |
Mode de contact Mode de tapement
[Facultatif] Mode de frottement Mode de phase Mode magnétique Mode électrostatique |
Mode de contact Mode de tapement
[Facultatif] Mode de frottement Mode de phase Mode magnétique Mode électrostatique |
Courbe actuelle de spectre |
Courbe de RMS-Z F-Z Force Curve |
Courbe de RMS-Z F-Z Force Curve |
Mode de balayage DE X/Y |
Balayage conduit par sonde, Scanner piézo-électrique de tube |
Balayage conduit par échantillon, étape piézoélectrique de balayage de décalage de boucle bloquée |
Chaîne DE X/Y de balayage |
70×70um |
Boucle bloquée 100×100um |
Résolution DE X/Y de balayage |
0.2nm |
Boucle bloquée 0.5nm |
Mode de balayage de Z |
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Balayage conduit par sonde |
Chaîne de balayage de Z |
5um |
5um |
Résolution de balayage de Z |
0.05nm |
0.05nm |
Vitesse de balayage |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
Angle de balayage |
0~360° |
0~360° |
Poids témoin |
≤15Kg |
≤0.5Kg |
Taille d'étape |
Dia.100mm
[Facultatif] Dia.200mm Dia.300mm |
Dia.100mm
[Facultatif] Dia.200mm Dia.300mm |
Déplacement DE X/Y d'étape |
100x100mm, résolution 1um
[Facultatif] 200x200mm 300x300mm |
100x100mm, résolution 1um
[Facultatif] 200x200mm 300x300mm |
Déplacement de l'étape Z |
15mm, résolution 10nm [Facultatif] 20mm 25mm |
15mm, résolution 10nm [Facultatif] 20mm 25mm |
Conception amortissante |
Suspension de ressort
[Facultatif] Amortisseur actif |
Suspension de ressort
[Facultatif] Amortisseur actif |
Système optique |
5x objectif 5.0M Digital Camera
[Facultatif] 10x objectif 20x objectif |
5x objectif 5.0M Digital Camera
[Facultatif] 10x objectif 20x objectif |
Sortie |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
Logiciel |
Victoire XP/7/8/10 |
Victoire XP/7/8/10 |
Principal organisme |
Tête de balayage de portique, base de marbre |
Tête de balayage de portique, base de marbre |
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Microscope |
Microscope optique |
Microscope électronique |
Microscope de balayage de sonde |
Max Resolution (um) |
0,18 |
0,00011 |
0,00008 |
Remarque |
1500x à immersion dans l'huile |
Atomes de carbone de diamant de représentation |
Atomes de carbone graphitiques d'ordre élevé de représentation |
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Interaction de Sonde-échantillon |
Signal de mesure |
L'information |
Force |
Force électrostatique |
Forme |
Courant de tunnel |
Actuel |
Forme, conductivité |
Force magnétique |
Phase |
Structure magnétique |
Force électrostatique |
Phase |
distribution de charge |
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Résolution |
Condition de travail |
Temperation fonctionnant |
Damge à prélever |
Profondeur d'inspection |
SPM |
Atom Level 0.1nm |
Normal, liquide, vide |
Pièce ou bas Temperation |
Aucun |
1~2 Atom Level |
TEM |
Point 0.3~0.5nm Trellis 0.1~0.2nm |
Vide poussé |
Pièce Temperation |
Petit |
Habituellement <100nm>
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SEM |
6-10nm |
Vide poussé |
Pièce Temperation |
Petit |
10mm @10x 1um @10000x |
FIM |
Atom Level 0.1nm |
Vide poussé superbe |
30~80K |
Damge |
Atom Thickness |
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